超純水の冷却、加熱に特化した
スーパークリーンチタン製プレート熱交換器
超純水の清浄度基準である TOC=10ppb 比抵抗=18MΩ
以上をクリアする性能である為問題無く使用可能。
テフロン熱交換器と比べ、大幅なコストダウンと小型化可能です。
既に多くの実績が御座います。

超純水の冷却、加熱に問題無く御使用になれます。

このスーパークリーンチタン式熱交換器は
プレート式の熱交換器になります。
独自のロウ材とクリーニング方法により
コンタミがの発生をほぼ無くす事に成功いたしました。

半導体製造装置メーカーの洗浄用として4年間の間
水質に何も問題が起こっていない実績が御座います。

テフロン式熱交換器との比較

1.価格が安い

テフロン式熱交換器に比べ、スーパークリーンチタン式熱交換器は低コストで提供が可能です。
大よそ1/3以下にはコストダウンが可能であると思います。
 

2.大きさが非常にコンパクトである事

 同じ熱交換量で例を挙げると
 φ600×3000mm の円柱状のテフロン熱交換器に対し
  310×90×250mm のチタン熱交換器で
 同じ熱量の熱交換が可能です。
 これにより超純水を局所で温調する場合の
 設置スペースの問題をクリア出来ます。

 

3.冷却水の流量(使用量)を大幅に少なく出来る。

これも例を挙げますと。
超純水の取り出す流量が45L 23℃である場合
テフロン熱交換器の場合 160L 17℃を流さないと成らない
のに対し
スーパークリーンチタン製熱交換器の場合
32L 17℃で熱交換を可能にします。

設備の冷却水使用量を1/5以下に抑える事が出来ます。
(省エネになる。)

4.設備冷却水温度に近い水温で冷却が可能。

設備の冷却水水温が17℃であった場合。
テフロン熱交換器で20℃以下を望むと熱交換器の多きさが膨大になり、場合によっては実現が不可能となります。

スーパークリーンチタン製熱交換器は金属である為熱交換係数が大きいので温度差を縮める事も容易です。
これにより冷却水の温度に近い超純水を取り出す事が
可能です。

超純水高速追従ワンパスチラー

弊社では超純水を高速に温調可能な超純水高速追従ワンパスチラーを販売しております。
このチタン熱交換器を内蔵しておりストレスフリーで高速に希望の水温で超純水を取り出せます。
超純水製造装置から送り出す超純水をこの装置にくぐらせるだけです。

チラーと熱交換器セットの価格がケースによっては
テフロン熱交換器よりも低コストになる事も御座います。
詳しくはお問い合わせを下されば対応致します。
純水高速追従ワンパスチラー

ACCESS

冷却水循環装置(チラー)を製造する当社はお客様からご好評いただいております

冷却水循環装置(チラー)の導入を検討されていましたら、当社が世界基準の品質を満たした製品をお客様にお届けしておりますので、ぜひご利用ください。 冷却水循環装置(チラー)を作る当社は日本のお客様だけでなく、海外のお客様にも対応できるよう、協業会社と連携しております。
AMU冷熱写真
会社名 AMU冷熱
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